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    稳定的超纯水 (UPW) 制备对微电子制造至关重要。贝博西甲采用多项贝博app下载工艺保证TOC、超微颗粒物、半导体元素硅和硼的高效去除,为生产线提供优质的超纯水。同时在提高水的利用率、节省用电能耗、提高关键设备(反渗透膜、EDI、抛光树脂)的使用寿命方面具有领先的贝博app下载能力。

  • 稳定的超纯水制备和监测

    贝博西甲为要求严苛的半导体生产线提供稳定、高效、节能的超纯水 (UPW) 和回收/循环成套系统。贝博西甲专注于关键微电子制造领域对超纯水水质的高要求,对紫外TOC去除器的设计选型及安装方式、颗粒物过滤器及滤芯的选材及洁净等级、抛光树脂床的运行及冲洗方式等都进行十分科学的计算及配置。同时在供水端设置严格的监测及自动控制,确保优质的超纯水进入生产线。

  • 同时产线部分ballbet体育下载经贝博西甲自主设计的处理回用系统,处理为纯水或超纯水供给生产车间,水的总利用率达到95%以上,能够为企业带来显著的经济和环境效益。

  • 我们可以为您做好

    适用于化学机械抛光、晶片抛光、清洁漂洗、切割和研磨等的所有超纯水 (UPW)

    来自海水或苦咸水水源的超纯水 (UPW)

    通过ballbet体育下载处理减少重金属、废酸、颗粒物和有机化合物含量

    水回收和回用系统

    节能计划

    用于超纯水 (UPW) 和回收水的大量程灵敏的总有机碳TOC分析仪

    用于硼/二氧化硅控制的超纯水 (UPW) 含量分析仪;超微颗粒物含量在线分析仪等

  • 解决方法 

  • 采用灵敏度、稳定性符合要求的总有机碳(TOC)分析仪进行控制

  • 根据源水或回收水的水质以及您对超纯水水质的贝博app下载要求进行量身设计,满足您各方面的贝博app下载及经济要求

  • 膜的选用及EDI、抛光混床灵活运行方式满足您的节能、稳定、高效的贝博app下载要求

  • 应用贝博app下载

  • 1、优化的贝博app下载工艺和严格的自动控制

    超纯水制备包括预处理、双级反渗透、EDI脱盐、抛光混床处理等主要工艺流程,前道工艺的处理效率直接影响后续工艺及最终产水水质

  • 2、ballbet体育下载的回收利用和源水利用率的提高

    超纯水在微电子或半导体生产线使用后的ballbet体育下载中主要含有与生产线工艺相关的杂质,采用贝博西甲的回收水处理工艺后得到的水质会优于市政自来水。


    我们能帮助您实现:

    水的利用率高达95%,节省了资源及费用

    稳定的供水是生产产品质量的重要保证

    实现了绿色GDP,为人类赖以生存的地球村做出贡献

  • 相关工工程经历

    达迩科技(上海)有限公司晶片切割及研磨ballbet体育下载(回用率≥95%)回用处理项目


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